流量计用于半导体和液晶制造设备
流量计用于半导体和液晶制造设备
■ 显示并监控转轴的转动和液体的流量，以确保喷射的液体附着均匀。
选定点
1.流量测量
■可以从微小流量进行测量（XFS系列）
■宽流量范围、高温度、高耐压（VC系列）
■通过0.5ms（TDP-4921）、0.1ms（SPD-2401）、1ms（TDP-3621）的模拟输出测量瞬时流量
2.转速测量
■通过0.5ms（TDP-4921）、0.1ms（SPD-2401）、1ms（TDP-3621）的模拟输出测量轴的旋转速度
3.传感
■高分辨率旋转编码器